在集成電路的制造過(guò)程中，有一個(gè)重要的環(huán)節(jié)：光刻。正是因?yàn)楣饪痰沫h(huán)節(jié)，我們才能在細(xì)小的芯片上實(shí)現(xiàn)各種功能。首先清洗硅片(Wafer Clean)，再次預(yù)烘和底膠涂覆，光刻膠涂覆，前烘，對(duì)準(zhǔn)，曝光等過(guò)程。由于光刻膠中含有溶劑，所以最好是在80℃左右Bake烘烤，去除圓片表面的潮氣增強(qiáng)粘性。

三清儀器鼓風(fēng)干燥箱可以精準(zhǔn)的控制溫度，溫度均勻性良好，給烘烤的物料提供需求的溫度環(huán)境?？啥〞r(shí)，嚴(yán)格控制加熱烘烤的時(shí)間。根據(jù)不同的物料的要求和加工工藝的需求，可分段控制，不同的溫度烘烤不同的時(shí)間，一次設(shè)定，全程控制。