隨著半導體微電子的全速發(fā)展，微電子芯片的防氧化防護對成品芯片的品質(zhì)起著關鍵性的作用。氮氣柜可以利用外接高純度氮氣，充入柜內(nèi)，降低柜內(nèi)的氧含量且可控制。全天候保護微電子芯片的品質(zhì)安全。
氮氣柜需要外接高純度氮氣才可以使用，氮氣柜本身無法產(chǎn)生氮氣。市場上部分氮氣柜自帶氮氣發(fā)生器，一般氮氣純度無法得到保證，氧含量和濕度無法完美的控制，推薦使用外購的高純度氮氣，推薦使用99.99%純度以上的氮氣。純度低的氮氣所包含的雜質(zhì)較多，長時間使用會損壞氮氣柜控制系統(tǒng)內(nèi)置的進口電磁閥。智能氮氣柜根據(jù)相對濕度或者氧含量自動判斷氮氣是否需要供應，氮氣經(jīng)過流量計，達到氮氣控制系統(tǒng)，再分散均勻的進入氮氣柜內(nèi)。防止氮氣過沖或者損壞流量計，推薦使用0.2Mpa-0.4Mpa的進氣壓力。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
