依據(jù)GB/T 14264-2009半導(dǎo)體材料術(shù)語，GB/T 25915.1-2010潔凈室及環(huán)境要求，由于晶圓Wafer是極易氧化的，所以它對存儲的環(huán)境要求是無氧環(huán)境，溫度不高于25℃。且處于Class 100無塵環(huán)境中，潔凈等級要求較高，推薦使用三清儀器品牌雙鏡面不銹鋼氮氣柜。
三清儀器不銹鋼氮氣柜采用1.0毫米優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼或拉絲不銹鋼板制作，全柜多處加強設(shè)計，無毛刺，承重性能良好。潔凈等級高，無顆粒物產(chǎn)生，可用于Class 100級無塵室中使用。為了適應(yīng)客戶的使用便利性，氮氣柜的隔板可以按晶圓盒的尺寸訂制，更可以設(shè)計為格柵插槽式，方便標記物料編號和物料的存取，配合4毫米高透鋼化玻璃視窗，氮氣柜內(nèi)的物料存放位置一目了然，可以減少開門尋找物料的時間，間接的節(jié)省氮氣的消耗。
智能節(jié)約型氮氣柜控制系統(tǒng)采用SMC電磁閥，無噪音壽命長，切斷和打開氮氣靈活，不受周邊設(shè)備輻射的影響。采用多點供氣系統(tǒng)，不銹鋼層板密布透氣孔，保證空氣流通，使得氮氣在氮氣柜內(nèi)的分布均勻，配合高端水晶流量計，防止氣體過沖吹散體積較小的物料。根據(jù)不同的物料標準可選擇相對濕度或者氧氣含量控制氮氣的輸出和切斷。氧化性較強的物料，可加裝氮氣柜門打開立即強制氮氣供應(yīng)，確保物料安全無虞?？杉友b更可選配軟件記錄系統(tǒng)，節(jié)省人力查抄溫濕度記錄值，方便實時查看物料存放的溫濕度環(huán)境值。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
