晶元（Wafer），也稱磊晶、晶圓、藍(lán)寶石襯底、外延片。是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多用于顯示照明及LED行業(yè)。單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元。晶元是最常用的半導(dǎo)體材料。Wafer的制造過程相當(dāng)復(fù)雜和嚴(yán)密，但卻是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ)。晶圓制造總的工藝流程可概分為晶圓處理工序（Wafer Fabrication）、晶圓針測(cè)工序（Wafer Probe）、構(gòu)裝工序（Packaging）、測(cè)試工序（Initial Test and Final Test）等幾個(gè)步驟。晶圓的成本很高，但是在普通環(huán)境下存放卻很容易氧化，造成很大的經(jīng)濟(jì)損失和不良品，需要我們使用氮?dú)夥姥趸Ｗo(hù)柜來存放。

Wafer晶圓按照不同的包裝，存放所需要的濕度值也不盡相同。帶包裝的或者真空包裝的需要存放在濕度為25%RH±3%RH的環(huán)境中，裸裝的需要存放在5%RH以下的濕度環(huán)境中。溫度值為25℃±5℃，潔凈等級(jí)為Class100的無塵環(huán)境中。三清儀器品牌氮?dú)夤?/a>，使用原裝進(jìn)口配件，多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，多孔式活動(dòng)層板，四周留有氣體對(duì)流間距，使得氮?dú)夥姥趸駜?nèi)氮?dú)夥植季鶆?，保護(hù)更全面。當(dāng)晶圓存放在氮?dú)夤駜?nèi)時(shí)，應(yīng)做好相應(yīng)的標(biāo)簽，通過高清鋼化玻璃視窗，晶圓的存放情況，存放位置一目了然。還要做好存放和取出晶圓的時(shí)間及對(duì)于的濕度值或氧含量值，全面了解Wafer在氮?dú)夤駜?nèi)的存放時(shí)長(zhǎng)和濕度情況?？杉友bUSB或232通信協(xié)議，單機(jī)版軟件或者TCP/IP協(xié)議多臺(tái)氮?dú)夤窠M網(wǎng)軟件來實(shí)時(shí)查看氮?dú)夤竦臏貪穸扔涗浿?。濕度超?biāo)報(bào)警功能，當(dāng)濕度不達(dá)標(biāo)或人為忘記關(guān)閉氮?dú)夤窆耖T時(shí)，通過聲光報(bào)警來提醒。