晶圓Wafer作為微電子集成電路里面的核心材料，是經(jīng)過(guò)非常復(fù)雜的前段工序而得到的，所以晶圓片的生產(chǎn)成本非常高。它在周轉(zhuǎn)過(guò)程中很容易出現(xiàn)被碰傷、刮花、缺角等問(wèn)題，所以對(duì)Wafer的保護(hù)也是每一家半導(dǎo)體企業(yè)不能忽視的。晶圓載具Cassette用于對(duì)晶圓片的隔離保護(hù)，防止產(chǎn)品在周轉(zhuǎn)存儲(chǔ)過(guò)程中出現(xiàn)的一系列問(wèn)題。晶圓在儲(chǔ)存的時(shí)候也是直接在Cassette中放入氮?dú)夤?/a>中的，為了提高氮?dú)夤竦目臻g使用率，三清儀器提供最適應(yīng)的氮?dú)夤裥吞?hào)。

我們按照12寸13槽的晶圓Wafer Cassette的尺寸來(lái)計(jì)算，長(zhǎng)寬約為400mm，高度約為190mm。以三清儀器品牌智能氮?dú)夤?/a>1436升6門(mén)為例，柜門(mén)開(kāi)口尺寸為545mm，門(mén)內(nèi)高度500mm，放置一層隔板，每層高度約為240mm，即一層隔板可以放置2盒Cassette，一臺(tái)1436升智能氮?dú)夤窆灿?jì)放入12盒晶圓花籃。一臺(tái)870升三清儀器氮?dú)夤?，同樣可以放?2盒，空間利用率比1436升氮?dú)夤竦睦寐室?。同時(shí)我們考慮氮?dú)夤駜?nèi)的氮?dú)饬魍ê头奖愦娣偶叭∥锼枰目臻g，三清儀器推薦選擇1436升全自動(dòng)智能氮?dú)夤駚?lái)存放晶圓Cassette和晶舟盒。也可以根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際需求來(lái)定制尺寸和功能。