晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。

晶圓同太陽(yáng)能電池片類(lèi)似，都包含硅，為防止其放置在空氣中被氧化，需要使用配合氮?dú)夤?/a>使用，確保其品質(zhì)。晶圓CASSETTE可直接放置在氮?dú)夤竦母舭迳?，設(shè)定好氮?dú)夤竦臐穸戎祷蜓鹾恐担P(guān)閉氮?dú)夤窆耖T(mén)，打開(kāi)氣源即可全自動(dòng)工作。配合內(nèi)置的進(jìn)口耐用的電磁閥，搭配濕度或氧含量傳感器采集的數(shù)據(jù)，自動(dòng)判斷氮?dú)夂螘r(shí)供應(yīng)和切斷，實(shí)現(xiàn)節(jié)約氮?dú)庀牡哪康?。為提供產(chǎn)品的潔凈度，推薦使用SUS304雙鏡面材質(zhì)的不銹鋼制作氮?dú)夤竦墓耋w。