微電子行業(yè)封裝工藝經(jīng)常都是無塵環(huán)境中進(jìn)行，除了在無塵室的無塵潔凈環(huán)境之外，還需要一定的溫度，加速各類膠水的固化及芯片的固定等流程，無塵潔凈烘箱可以很好的提供此類環(huán)境，溫度可在室溫至200或300℃之間自由設(shè)定，潔凈等級分為千級無塵和百級無塵。工業(yè)生產(chǎn)過程中可能對烘箱容積的需求較大一些，而實(shí)驗(yàn)室階段則推薦小型無塵潔凈干燥箱。

設(shè)備包含鈑金箱體、加熱系統(tǒng)、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，溫度控制系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、充氮系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)。采用先進(jìn)的鈑金焊接加工技術(shù)，結(jié)合工業(yè)級智能精密控溫技術(shù)，采用環(huán)保節(jié)能設(shè)計(jì)，進(jìn)口耐高溫過濾器，設(shè)備密封性好、機(jī)械強(qiáng)度高、高潔凈度、易操控、高穩(wěn)定性、安全性，符合國際審美觀的標(biāo)準(zhǔn)化整體式結(jié)構(gòu)箱體；具有操作簡便、控制系統(tǒng)自動化程度高、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定、無故障運(yùn)行時間長等優(yōu)點(diǎn)，產(chǎn)品達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。采用耐高溫高效過濾器，過濾等級H13(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材，連續(xù)耐溫300℃，不銹鋼外框，鋁箔隔層，進(jìn)口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當(dāng)設(shè)備開啟，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)啟動，熱風(fēng)循環(huán)通過高效過濾器H.E.P.A實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。