半導(dǎo)體晶圓在生產(chǎn)制造的過(guò)程中，需要在無(wú)塵室的環(huán)境下進(jìn)行，因?yàn)榧?xì)小的顆粒物可能就會(huì)引起集成電路的故障和缺陷，而在封裝工藝的過(guò)程中，需要在無(wú)塵潔凈烘箱中進(jìn)行，確保成品無(wú)缺陷。包括千級(jí)，百級(jí)無(wú)塵烘箱的顆粒物數(shù)量的標(biāo)準(zhǔn)是1立方米或1立方英尺的環(huán)境中顆粒物的數(shù)量不超過(guò)35200（立方米）或1000（立方英尺）則為千級(jí)潔凈環(huán)境，而不超過(guò)3520和100的數(shù)量，則達(dá)到了百級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)。三清儀器千級(jí)無(wú)塵烘箱，又稱潔凈烤箱使用進(jìn)口的高效過(guò)濾器，可以凈化潔凈烤箱工作室內(nèi)部的環(huán)境，大大降低顆粒物的數(shù)量，使用專業(yè)顆粒物測(cè)試儀測(cè)試，能達(dá)到千級(jí)或者百級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)。

外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內(nèi)襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進(jìn)口溫控器，控溫精度0.3級(jí)，溫度分辨率±0.1℃，PID智能計(jì)算，自動(dòng)恒溫，超溫抑制，傳感器斷線報(bào)警，斷電記憶，控溫精確，操作簡(jiǎn)單，可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過(guò)濾器，過(guò)濾等級(jí)H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材，連續(xù)耐溫300℃，不銹鋼框架，鋁箔夾層，進(jìn)口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設(shè)備開(kāi)機(jī)后，啟動(dòng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，熱風(fēng)循環(huán)通過(guò)高效過(guò)濾器h.e.p.a實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈。