氮?dú)夤?/a>是需要向柜體充入高純度的氮?dú)?，通過(guò)空氣置換原理，讓氮?dú)夤窆駜?nèi)的氮?dú)鉂舛壬撸瑥亩档凸駜?nèi)的相對(duì)濕度值和氧含量值。配置氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)及溫濕度采集系統(tǒng)，可以按需定點(diǎn)的控制濕度值或氧含量值，在半導(dǎo)體行業(yè)通常用來(lái)存儲(chǔ)晶圓盒，防止晶圓片的氧化。

氮?dú)夤穸紩?huì)配置有氮?dú)饬髁坑?jì)來(lái)控制調(diào)節(jié)的氮?dú)饬髁?，相比普通的直沖型氮?dú)夤瘢?a href="http://5slink.cn/article/SK-323.html">三清儀器的智能節(jié)約型氮?dú)夤窨梢杂行У墓?jié)約氮?dú)獾南模渲玫獨(dú)庾詣?dòng)供應(yīng)及切斷系統(tǒng)和多點(diǎn)供氣，讓氮?dú)獾南目梢怨?jié)約80%以上。節(jié)約氮?dú)獾脑硎鞘褂脺貪穸葌鞲衅骰蛘哐鹾總鞲衅鞑杉瘮?shù)據(jù)，反饋至微電腦系統(tǒng)于設(shè)定值相比對(duì)，如果當(dāng)前數(shù)據(jù)達(dá)到或低于設(shè)定值的時(shí)候，內(nèi)置的SMC電磁閥，即刻切斷氮?dú)夤?yīng)。反之，如果高于設(shè)定值的時(shí)候，會(huì)自動(dòng)打開氮?dú)夤?yīng)。同時(shí)要說(shuō)明的是，智能氮?dú)夤?/a>的流量計(jì)的流量大小和氮?dú)獾南臎](méi)有必然的直接關(guān)系（不排除流量過(guò)大，導(dǎo)致漏氣的情況發(fā)生），消耗量只和環(huán)境的濕度值，開門的次數(shù)及開門的時(shí)間長(zhǎng)短有關(guān)系。另外存放晶圓盒的氮?dú)夤瘢话阃扑]不銹鋼材質(zhì)制作，潔凈等級(jí)更高，確保電路的品質(zhì)。