潔凈烘箱在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用常見于膠水的固化，芯片或基板的干燥處理等工藝。根據(jù)不同的標(biāo)準(zhǔn)分為Class100百級(jí)潔凈度和Class1000千級(jí)潔凈度，它們對(duì)潔凈烘箱工作室內(nèi)部的顆粒物粉塵的數(shù)量有著不同的數(shù)量要求，百級(jí)的要求是1立方米（1立方英尺）不高于3520（100），千級(jí)的要求是1立方米（1立方英尺）不高于35200（1000）。用戶一般使用手持式激光顆粒物及粉塵連續(xù)式測(cè)試儀來(lái)測(cè)試結(jié)果。針對(duì)無(wú)塵潔凈烘箱的潔凈度的要求，要求潔凈烘箱的內(nèi)膽材質(zhì)使用凈化不銹鋼板材且對(duì)厚度有一定的要求，確保本身不產(chǎn)塵，結(jié)構(gòu)密封性好，外部顆粒物無(wú)法通過(guò)箱體進(jìn)入工作室的內(nèi)部。

Class100潔凈烘箱顆粒物粉塵測(cè)試之前應(yīng)確保烘箱在進(jìn)入潔凈室之前經(jīng)過(guò)凈化處理，如使用蘇打水或酒精擦拭，包括內(nèi)膽，隔板，箱門內(nèi)側(cè)及密封條。使用酒精擦拭的話，要充分晾干，防止加熱時(shí)引酒精燃燒，一般不推薦使用酒精擦拭。當(dāng)烘箱擦拭凈化后，要先通電工作一段時(shí)間，讓無(wú)塵潔凈烘箱的高效過(guò)濾器HEPA充分的工作，把工作室內(nèi)部原有的空氣經(jīng)過(guò)凈化過(guò)濾后再行測(cè)試。打開三清儀器潔凈烘箱的測(cè)試孔，把顆粒物測(cè)試儀的探頭通過(guò)測(cè)試孔放入烘箱內(nèi)部，測(cè)試孔用無(wú)塵布堵住，盡可能的防止外部環(huán)境的空氣進(jìn)入烘箱內(nèi)部。測(cè)試結(jié)束后拿出測(cè)試儀進(jìn)行讀書即可。參考顆粒物數(shù)量的標(biāo)準(zhǔn)即可測(cè)出烘箱是否達(dá)標(biāo)。