Class100百級(jí)無塵潔凈烤箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。配置氮?dú)饨涌冢褂们翱上蚬駜?nèi)充入氮?dú)狻?a href="http://5slink.cn/article/SK-323.html">三清儀器潔凈烤箱在普通的環(huán)境下，能夠確保烤箱內(nèi)部的潔凈等級(jí)達(dá)到Class 100。
潔凈烤箱的溫控系統(tǒng)采用智能控制系統(tǒng)，可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式最大可編99段，共1200段，歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)。使用可控硅加雙SSR輸出，溫度可控性能更好。采用平面水平由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))，過濾效率99.99%，內(nèi)部的潔凈等級(jí)達(dá)到Class 100。
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型號(hào)
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級(jí)無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環(huán)境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動(dòng)度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時(shí)間
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40分鐘以內(nèi) （室溫-300℃）
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結(jié) 構(gòu) |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
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內(nèi)膽
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SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進(jìn)氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動(dòng)開啟排風(fēng)閥門
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溫度控 制系統(tǒng) |
調(diào)節(jié)方式
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PID 控制方式
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運(yùn)轉(zhuǎn)方式
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定值運(yùn)轉(zhuǎn) 程序運(yùn)轉(zhuǎn)
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設(shè)定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設(shè)定方式
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數(shù)字式
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顯示方式
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LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護(hù)
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輸入斷線檢測(cè)功能 上限溫度過熱報(bào)警 蜂鳴器報(bào)警 自行診斷
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定時(shí)功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機(jī)溫度保護(hù)開關(guān) 溫度保險(xiǎn)絲 獨(dú)立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內(nèi)容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內(nèi)部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊(cè)
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報(bào)警燈 計(jì)時(shí)器等
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