無塵潔凈烘箱相比普通的鼓風干燥箱，工藝相對較為復雜。不僅需要加熱器搭配鼓風機提供熱源來升高箱內(nèi)的溫度，確保溫度均勻性的同時，還需要保證箱內(nèi)的潔凈度。半導體封裝行業(yè)使用的無塵潔凈干燥箱均采用耐高溫的高效過濾器（HEPA）來凈化干燥箱內(nèi)部的環(huán)境。首先通過電加熱不銹鋼覆套式加熱管，使用鼓風機將熱風吹至風道，再經(jīng)過過濾器，最后進入工作室來提升溫度和凈化顆粒物。需要注意的是，潔凈烘箱進入無塵室或者放置在普通環(huán)境下，開機之前需要進行潔凈擦拭工作，使用蘇打水和無紡布擦拭內(nèi)膽，門框及隔板等部分，開機后等循環(huán)風經(jīng)過幾次循環(huán)之后，可以打開測試孔使用顆粒物計數(shù)器測試潔凈等級。

無塵潔凈干燥箱內(nèi)膽經(jīng)過全密封設(shè)計，滿焊滿燒打磨處理，確保自身經(jīng)過蘇打水擦拭后不產(chǎn)塵之外，還得確保外部環(huán)境的顆粒物無法進入內(nèi)膽，外部殼體與不銹鋼工作室直接的連接也需要做好密封處理，防止細小的顆粒物侵入工作室中。溫度傳感器使用K型耐高溫傳感器，使用壽命長。溫控儀表使用可控硅和固態(tài)繼電器控制，溫度精準不過沖。產(chǎn)品使用前先檢查氮氣接口，使用前應將氮氣接通本機的氮氣接口，特別注意在接通前必須先將 N2 壓力調(diào)節(jié)至 3.5kg/cm2（或 50PSI）及氮氣流量計全開。然后將烘烤物置入箱內(nèi)后須將箱門關(guān)閉，門扣扣緊后，箱門安全開關(guān)有作用，機臺才能順利啟動。烘箱后方之冷卻排風口，請接至排氣系統(tǒng)（φ5＂接管）冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防員燙傷或影響工作環(huán)境。確認電源連接是否正確，接地線檢查。先啟動電源總開關(guān)，再啟動溫控開關(guān)，最后設(shè)定溫度及時間。