氮?dú)夤?/a>是一種密閉性極好的柜體,向內(nèi)部充入99.99%以上高純度的氮?dú)?,利用空氣排壓原理,置換柜體內(nèi)原有的空氣,大大降低柜內(nèi)的濕度和氧含量,使得氮?dú)夤駜?nèi)部處于高濃度氮?dú)獾姆諊捎行У姆乐勾嫒氲臉悠钒l(fā)生潮濕氧化等現(xiàn)象。使用1.2毫米厚度SUS304雙鏡面材質(zhì)制作,潔凈等級更好,適合半導(dǎo)體行業(yè)用來存儲(chǔ)晶圓片,防止其氧化。三清儀器氮?dú)夤裰С址菢?biāo)按需訂制,例如根據(jù)CASSETTE的尺寸及數(shù)量來訂制氮?dú)夤竦耐庥^尺寸及其他氮?dú)夤竦墓δ艿取?

氮?dú)夤竦某凉駲C(jī)芯采用金屬外殼制作,表面靜電噴塑。內(nèi)置進(jìn)口配件,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動(dòng)程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng);當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)打開氮?dú)夤?yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點(diǎn)均勻式供氣系統(tǒng),防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮?dú)饩鶆蛐裕鋬?nèi)無氮?dú)馑澜?,防止物料受潮氧化,更好的保護(hù)存放的物料。溫濕度雙區(qū)超高亮獨(dú)立顯示。濕度設(shè)定數(shù)值具有記憶功能,斷電后無需重新設(shè)定。溫濕度傳感器采用原裝進(jìn)口品牌HoneyWell,數(shù)據(jù)精準(zhǔn),靈敏,長時(shí)間使用數(shù)值偏移值小。溫度顯示范圍:-9℃ ~ 99℃,顯示精度:±1℃。濕度顯示范圍:1%RH ~ 99%RH,顯示精度:±3%RH。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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