8英寸Cassete氮?dú)獯鎯?chǔ)保護(hù)柜，12英寸Cassete氮?dú)獯鎯?chǔ)保護(hù)柜使用優(yōu)質(zhì)雙鏡面不銹鋼制作，可選201或者304規(guī)格不銹鋼板材。配置節(jié)氮裝置，智能控制氮?dú)獾墓?yīng)與切斷。可選更多功能如濕度超標(biāo)聲光報(bào)警，柜門未關(guān)好報(bào)警，濕度誤差校準(zhǔn)等。氮?dú)夤?/a>尺寸可根據(jù)晶圓盒的尺寸和存儲(chǔ)的數(shù)量來訂制。晶圓盒的氮?dú)夤駶穸瓤刂品秶?% - 60%RH區(qū)間可任意調(diào)節(jié)，當(dāng)濕度達(dá)到用戶設(shè)定值時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng)。開啟箱門之后，濕度上升超過用戶設(shè)定值，氮?dú)鈺?huì)自動(dòng)打開供應(yīng)，快速除濕，將濕度穩(wěn)定在預(yù)設(shè)值內(nèi)。需要注意的是，正常設(shè)置的氮?dú)夤?，斷電后電磁閥默認(rèn)處于關(guān)閉狀態(tài)，即斷電后氮?dú)馓幱陉P(guān)閉狀態(tài)。此設(shè)置可能不適合部分場景應(yīng)用，針對(duì)此類情況，三清儀器氮?dú)夤窨尚薷臑閿嚯姾?，氮?dú)饽J(rèn)處于一直供氣的狀態(tài)，以此來保護(hù)物料的安全。缺點(diǎn)是氮?dú)獾南牧繒?huì)增加。