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潔凈室的定義及測(cè)試常用的規(guī)范有哪些

更新時(shí)間：2017-02-16 10:31:04瀏覽次數(shù)：0

潔凈室常用的規(guī)范有四種，分別是
1.美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Federal Standard 209E (Fed 209E)
2.美國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì) (Institute of Environmental Sciences and Technology) 無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范IEST-RP-CCO06.2
3.美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡局 (National Environmental Balancing Bureau) 之無(wú)塵室認(rèn)證程序規(guī)范Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms。
4.國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織 (International Organization for Standardization) ISO 14644-1

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