氮?dú)夤?/a>作為一種微電子行業(yè)常用的設(shè)備,從材質(zhì)上可分為不銹鋼潔凈車間氮?dú)夤窈推胀ɡ滠堜摪屐o電噴塑防靜電氮?dú)夤駜煞N。氮?dú)夤裣潴w內(nèi)充入高純度氮?dú)庥脕肀Wo(hù)存放的樣品,防止其受潮氧化變質(zhì)等負(fù)面因素的發(fā)生。

三清儀器不銹鋼氮?dú)夤?/a>使用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面或者拉絲(霧面)不銹鋼制作,整體焊接而成,牢固程度好,并涂抹防泄漏膠水,確保柜體的密封性。氮?dú)饪刂颇=M外殼也使用同質(zhì)不銹鋼制作,潔凈等級(jí)高,自身不產(chǎn)塵,可適用在百級(jí)或千級(jí)無(wú)塵室內(nèi)使用。進(jìn)口電磁閥性能穩(wěn)定,有效可靠的控制氮?dú)獾墓?yīng)與切斷,且無(wú)噪音,受外界環(huán)境因素影響小。多點(diǎn)均勻供氣系統(tǒng)使得氮?dú)夤駜?nèi)部氮?dú)夥植季鶆颍玫娜姹Wo(hù)樣品。推薦使用99.99%純度以上氮?dú)猓鄬?duì)濕度或者氧含量控制更加精準(zhǔn),效率更高。通過減壓閥或者管道出氣口調(diào)節(jié)進(jìn)氣壓力,推薦0.2-0.4MPa壓力。

智能節(jié)約型氮?dú)夤袷褂眠^程中的一個(gè)誤區(qū),客戶經(jīng)常為了節(jié)約氮?dú)?,把氮?dú)夤竦牧髁坑?jì)調(diào)節(jié)的很小,讓氮?dú)饩徛倪M(jìn)去氮?dú)夤駜?nèi)部。其實(shí)這種做法適用與老款的無(wú)氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)的氮?dú)夤?,三清儀器智能節(jié)約型氮?dú)夤駜?nèi)置傳感器和微電腦控制系統(tǒng),根據(jù)用戶的設(shè)置,自動(dòng)判斷氮?dú)馐欠窆?yīng)和切斷。所有智能氮?dú)夤?/a>的流量計(jì)的流量大小只影響濕度或氧含量的到達(dá)設(shè)定值的時(shí)間長(zhǎng)短,不影響氮?dú)獾南牧康亩嗌佟?

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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