晶圓通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數(shù)以百萬計的晶體管，被廣泛應(yīng)用于集成電路的制造。切片后的晶圓片十分脆弱，稍不注意可能會被毀壞，由于成本較高需要放置在CASSETTE提籃或晶舟盒內(nèi)存放，再者為了避免長期暴露在空氣中發(fā)生氧化及被顆粒物污染，需要使用不銹鋼氮氣柜來保管存儲晶圓片CASSETTE。

三清儀器智能不銹鋼材質(zhì)氮氣柜，潔凈等級高，自身不產(chǎn)塵，在千級或百級無塵室中，專門用來存儲晶圓的CASSETTE，智能供氮控制系統(tǒng)，配合多點供氣氣路，可大大的節(jié)約氮氣的消耗且能確保氮氣柜內(nèi)部的氮氣分布均勻無死角。控氮機芯采用金屬外殼（或SUS304不銹鋼）制作。內(nèi)置進(jìn)口配件，性能穩(wěn)定可靠，不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng)，當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時，系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應(yīng)；當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時，系統(tǒng)會自動打開氮氣供應(yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統(tǒng)，防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮氣均勻性，箱內(nèi)無氮氣死角，防止物料受潮氧化，更好的保護(hù)存放的物料。