氮?dú)夤?/a>是利用高純度氮?dú)鈦肀Wo(hù)易氧化樣品,防止其氧化。如半導(dǎo)體行業(yè)使用的Wafer晶圓就需要放置在氮?dú)夤裰写鎯?chǔ),為了防止晶圓被環(huán)境污染,需要在潔凈的無塵室內(nèi)存儲(chǔ)和操作,這就需要搭配使用SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì)氮?dú)夤瘛?

三清儀器不銹鋼氮?dú)夤?/a>使用優(yōu)質(zhì)SUS304雙鏡面工藝不銹鋼,自身不產(chǎn)塵,潔凈等級(jí)高。使用進(jìn)口氮?dú)饪刂颇=M,可根據(jù)用戶自主設(shè)置的濕度值來自動(dòng)打開和切斷氮?dú)夤?yīng),節(jié)約氮?dú)獾南?,減低成本。氮?dú)馕⒀h(huán)系統(tǒng)可讓氮?dú)夤駜?nèi)氮?dú)夥植季鶆?,減壓氣流極小的沖擊力不會(huì)破壞或移動(dòng)樣品。不銹鋼氮?dú)夤駜?nèi)置的隔板可自由上下移動(dòng),方便放置不同尺寸的樣品。也可以按照客戶的需求訂制,如放置12寸CASSETE,可選擇12盒,20盒或其他數(shù)量的。

三清儀器不銹鋼氮?dú)夤裢扑]使用99.99%純度以上的氮?dú)?,進(jìn)氣壓力推薦設(shè)置為0.2 – 0.4MPA??纱钆渎暪鈭?bào)警系統(tǒng)(可延時(shí)),USB溫濕度信息傳輸系統(tǒng),RS485通信接口??蓪?shí)現(xiàn)顯示誤差自我調(diào)節(jié)功能等。更能為了防止斷電,停電氮?dú)鈺?huì)切斷不能更好的保護(hù)樣品,三清儀器不銹鋼氮?dú)夤窨蓪?shí)現(xiàn)斷電后自動(dòng)打開氮?dú)夤?yīng)功能,更好的保護(hù)樣品。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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