無塵潔凈烤箱可以為產(chǎn)品生產(chǎn)工藝提供一個潔凈的高溫環(huán)境，防止精密的芯片被顆粒物污染，根據(jù)不同的等級要求和配置可分為百級無塵烤箱和千級無塵烤箱。其核心部件分為潔凈的烤箱工作室內(nèi)膽，加熱源及風(fēng)機(jī)以及凈化空氣的耐高溫高效過濾器。溫控儀表采用智能PID儀表，通過可控硅加雙通道的SSR來恒溫箱內(nèi)的溫度。設(shè)備應(yīng)配置有HEPA的壓差計(jì)，用戶可實(shí)時觀測過濾器的堵塞程度，方便檢查過濾器的使用壽命。設(shè)備到場后應(yīng)充分檢查核實(shí)安裝條件，設(shè)備通電前應(yīng)全面檢查設(shè)備的配套環(huán)境及條件，以防不適宜的環(huán)境和錯誤的使用給設(shè)備帶來無法挽回的損壞。

設(shè)備安裝之前應(yīng)確保地面平整，周圍通風(fēng)良好，不潮濕，附近無易燃或腐蝕性氣體，周圍落塵量 較少。盡可能的遠(yuǎn)離可燃物，環(huán)境溫度勿過高，最好在室溫～40℃范圍內(nèi)。理想操作環(huán)境機(jī)身各方距墻至少 60 公分以上。請依電器銘板上所規(guī)定之電源規(guī)格接電。電壓變動率必須在額定值±5％內(nèi)。為避免電擊意外發(fā)生，機(jī)臺本身必須接地。不可將綠色接地線接至瓦斯或水管上。不可將有漏電斷路器的烤箱與無此裝置烤箱共享接地線路。請檢查送風(fēng)馬達(dá)轉(zhuǎn)向，正確的應(yīng)該是與馬達(dá)上貼示的轉(zhuǎn)向標(biāo)簽一致。（一般出廠前都有調(diào)整，無需變動）如轉(zhuǎn)向錯誤，請打開烘箱頂部蓋板，并依據(jù)馬達(dá)正確的接線方式來更換轉(zhuǎn)向。產(chǎn)品使用前檢查：使用前應(yīng)將氮?dú)饨油ū緳C(jī)的氮?dú)饨涌?，特別注意在接通前必須先將 N2 壓力調(diào)節(jié)至 3.5kg/cm2（或 50PSI）及氮?dú)饬髁坑?jì)全開。將烘烤物置入箱內(nèi)后須將箱門關(guān)閉，門扣扣緊后，箱門安全開關(guān)有作用，機(jī)臺才能順利啟動。烘箱后方之冷卻排風(fēng)口，請接至排氣系統(tǒng)（φ5＂接管）冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防員燙傷或影響工作環(huán)境。電源連接是否正確，接地線檢查。先啟動電源總開關(guān)，再啟動溫控開關(guān)，最后設(shè)定溫度及時間。