百級無塵潔凈烤箱通過風(fēng)機把不銹鋼加熱管的熱量經(jīng)過耐高溫高效過濾器均勻的吹到烤箱內(nèi)部，實現(xiàn)有效降低箱體環(huán)境的顆粒物數(shù)量的同時均勻的提升箱體內(nèi)部的溫度，三清儀器潔凈烤箱擁有良好的溫度均勻性及無塵環(huán)境，達到Class100的無塵潔凈環(huán)境，為晶圓封裝或膠水固化等工藝提供良好的環(huán)境。風(fēng)道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風(fēng)道內(nèi)部。熱風(fēng)經(jīng)過H.E.P.A進入干燥箱內(nèi)部，再循環(huán)至頂部進入風(fēng)道，往復(fù)循環(huán)。耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um），采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續(xù)耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封。

百級無塵潔凈烤箱搭載PID智能溫控儀，有效防止溫度過程的現(xiàn)象。配合設(shè)計合理的熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)道，均勻的提升箱體內(nèi)部的溫度，有著均勻性良好的特性。設(shè)備包含鈑金箱體、加熱系統(tǒng)、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，溫度控制系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、充氮系統(tǒng)（選配）。具有操作簡便、控制系統(tǒng)自動化程度高、系統(tǒng)運行穩(wěn)定、無故障運行時間長等優(yōu)點，適用于各類產(chǎn)品的高溫?zé)o塵潔凈環(huán)境下的測試及試驗。三清儀器百級無塵烤箱的加熱系統(tǒng)采用U型不銹鋼加熱管，PID調(diào)節(jié)器，其執(zhí)行元件為固態(tài)繼電器(S.S.R)。數(shù)字型智能程序溫度控制器，控溫精度0.5級，溫度分辨率±0.1℃，PID智能演算，自動恒溫，超溫抑制，傳感器斷線警報，斷電記憶，控溫精準。