氮氣柜是外接氮氣氣源,通過流量計進入氮氣控制系統(tǒng)中,然后經(jīng)過多個細小的出氣孔分散的進入氮氣柜箱體內(nèi)部,可以確保氮氣的分布均勻無死角。氮氣柜本身對氮氣的純度無要求,當然純度越高的氮氣對電磁閥的壽命是有著延長的作用,如雜質(zhì)過多的話,可能會導致電磁閥提前損壞,而氮氣無法正常進入氮氣柜內(nèi)部或無法控制氮氣的自動供應與自動切斷。如存儲的是半導體晶圓片Wafer,則推薦選擇99.99%純度以上的高純度氮氣來保護晶圓,防止其氧化。至于氮氣柜的溫濕度標準,是需要根據(jù)存儲物料的存儲要求來確定,存儲不同的樣品氮氣柜設(shè)定的濕度值各不一樣,濕度設(shè)定值越低,消耗的氮氣越高。氮氣柜的溫度值不受控制,僅僅顯示當前的環(huán)境溫度值。為了防止用戶開啟氮氣柜柜門的時候過高濃度的氮氣對人員帶來的不良影響,可使用開啟箱門時自動切斷氮氣供應的功能。
氮氣柜的作用主要是利用柜體內(nèi)部的氮氣,營造出一種惰性氣體的氛圍,防止親氧,親水性的物品在空氣中發(fā)生氧化現(xiàn)象,需要消耗氮氣作為耗材。使用過程中氮氣的進氣壓力不宜設(shè)置過大,因為氮氣柜是一種密封性較好的柜體,但其密封性無法與壓力容器相比,當柜內(nèi)的正壓過高時,可能會造成氮氣柜泄漏,造成浪費及提高了使用成本。可以在氮氣管道的出氣端口或氮氣氣瓶的出氣口加裝減壓閥,在氣源的出氣壓力也是氮氣柜的進氣壓力調(diào)節(jié)為0.2MPA為宜。當用戶發(fā)現(xiàn)氮氣保護柜的氮氣消耗不正常時,可首先檢測柜體密封性,使用泡沫水或細微線束在門框處進行測試,正常按照三清儀器1436升的氮氣柜,環(huán)境濕度為60%RH,一天開門3-5次,每次10-20秒,一瓶40升的氮氣,約使用時間為4-5天。相比直充氮氣的氮氣保護柜來說,約節(jié)約80%的氮氣消耗。當然氮氣柜還可以結(jié)合防潮箱輔助除濕,更進一步的來節(jié)約氮氣的消耗。使用SUS304不銹鋼材質(zhì)的不銹鋼氮氣柜,潔凈等級更高,適合在無塵室內(nèi)部使用,存放各類精密的元器件及Wafer晶圓片。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |