氮氣烤箱就是在烤箱的基礎(chǔ)上加裝氮氣接口，可向干燥箱的工作室內(nèi)部充入高純度氮氣，可以提供一個無氧的高溫烘箱環(huán)境，適用于各類活性較強的易氧化物料高溫烘烤。氮氣烤箱又可分為普通氮氣烤箱和潔凈氮氣烤箱。

普通的氮氣烤箱需要對烤箱的工作室做滿焊滿燒處理，加強箱門的密封性，防止充入的氮氣因正壓而泄漏，導(dǎo)致使用成本提高。干燥箱的進風(fēng)口和出風(fēng)口都要做密閉處理，靠氮氣氣源作為外來氣體進入箱體內(nèi)部循環(huán)。防止易氧化的物料在高溫環(huán)境下發(fā)生氧化。MEMS封帽之前的器件烘箱是為了去除濕氣，干燥后的物料轉(zhuǎn)移到封帽腔的中，濕度的影響會導(dǎo)致產(chǎn)品的不良率。

潔凈烤箱一般都是具備氮氣接口功能的，外部環(huán)境的空氣經(jīng)過HEPA高效過濾器后進入箱內(nèi)內(nèi)部，會提高一個達標(biāo)的（百級或千級）潔凈環(huán)境以供有潔凈環(huán)境需求的工藝使用。充入氮氣不僅可以實現(xiàn)快速降溫，還可以防止物料氧化的現(xiàn)象發(fā)生。