控氧氮氣柜利用外接氮氣氣源充入氮氣柜內(nèi)部,可以有效的控制柜體內(nèi)部的氧氣含量且可以精準(zhǔn)的顯示,特別適合半導(dǎo)體微電子行業(yè)存放晶圓,芯片等。三清儀器氮氣柜控制系統(tǒng)內(nèi)置進(jìn)口配件,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應(yīng);當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動打開氮氣供應(yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統(tǒng),防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮氣均勻性,箱內(nèi)無氮氣死角,防止物料受潮氧化,更好的保護(hù)存放的物料。

SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì)加強設(shè)計,結(jié)構(gòu)牢固,承重性能和箱體氣密性優(yōu)越。門窗鑲嵌高強度鋼化玻璃,平面加壓把手設(shè)計。安裝導(dǎo)靜電萬向腳輪,方便移動和定位。配備高端氮氣進(jìn)氣流量計。高強度載重移動式層板,可根據(jù)存放的物料隨意調(diào)節(jié)每層層板之間的高度,存放物料更方便,空間利用率更高。氮氣柜溫濕度管理記錄功能,實時監(jiān)控氮氣柜內(nèi)溫濕度變化,使用相關(guān)軟件后,可支持在電腦界面實時顯示溫濕度曲線圖及保存打印歷史記錄數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

氮氣柜