控氧氮氣柜利用外接氮氣氣源充入氮氣柜內(nèi)部,可以有效的控制柜體內(nèi)部的氧氣含量且可以精準(zhǔn)的顯示,特別適合半導(dǎo)體微電子行業(yè)存放晶圓,芯片等。三清儀器氮氣柜控制系統(tǒng)內(nèi)置進(jìn)口配件,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應(yīng);當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動打開氮氣供應(yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統(tǒng),防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮氣均勻性,箱內(nèi)無氮氣死角,防止物料受潮氧化,更好的保護(hù)存放的物料。
SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì)加強設(shè)計,結(jié)構(gòu)牢固,承重性能和箱體氣密性優(yōu)越。門窗鑲嵌高強度鋼化玻璃,平面加壓把手設(shè)計。安裝導(dǎo)靜電萬向腳輪,方便移動和定位。配備高端氮氣進(jìn)氣流量計。高強度載重移動式層板,可根據(jù)存放的物料隨意調(diào)節(jié)每層層板之間的高度,存放物料更方便,空間利用率更高。氮氣柜溫濕度管理記錄功能,實時監(jiān)控氮氣柜內(nèi)溫濕度變化,使用相關(guān)軟件后,可支持在電腦界面實時顯示溫濕度曲線圖及保存打印歷史記錄數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |