三清儀器專業(yè)銷售實(shí)驗(yàn)室氮?dú)夤?/a> 晶圓存放智能節(jié)約型氮?dú)夤瘛?.2mm冷軋鋼板加強(qiáng)設(shè)計，柜體牢固，經(jīng)久耐用；表面采用靜電噴塑，橘紋表面，防刮擦防腐蝕，整體美觀大方。隔板數(shù)量可自由根據(jù)物料尺寸加減或定制。
4寸，6寸，8寸，12寸晶圓盒子，為了方便取放和標(biāo)記，三清儀器實(shí)驗(yàn)室氮?dú)夤?晶圓存放智能節(jié)約型氮?dú)夤窨蔀槟可矶ㄖ聘舭?，抽取式，抽屜式等。為了?jié)約時間和方便產(chǎn)線生產(chǎn)效率，更可定制為雙面開門式。
三清儀器氮?dú)夤窨氐到y(tǒng)內(nèi)置原裝進(jìn)口電磁閥，壽命長，無噪音。通過微電腦控制，濕度或氧含量達(dá)到預(yù)設(shè)值后會自動切斷氮?dú)夤?yīng)，智能節(jié)約氮?dú)猓瑹o需人工手動操作。為了適應(yīng)物料的無氧環(huán)境，當(dāng)斷電后可設(shè)置為常進(jìn)氣狀態(tài)（正常設(shè)置為斷電后無法進(jìn)氣）。更多非標(biāo)定制需求請聯(lián)系在線客服。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
