無氧烤箱GM-60D和潔凈烤箱MOL-2DS的主要區(qū)別如下:
功能與應用場景
無氧烤箱GM-60D:
主要用于需要在無氧環(huán)境中進行的工藝,如IC封裝、晶體管、傳感器、石英晶體振蕩器等,防止材料在高溫下氧化。
含氧量極低,≤20PPM,適用于對氧化敏感的材料。
潔凈烤箱MOL-2DS:
主要用于需要高潔凈度的工藝,如晶圓、電子元器件的固化、封裝后烘烤等。
內部潔凈等級可達Class 100,適用于對微塵敏感的工藝。
溫度范圍與控制精度
無氧烤箱GM-60D:
溫度范圍為60℃~550℃。
溫度均勻度為±2.5℃@200℃,±5℃@350℃。
潔凈烤箱MOL-2DS:
溫度范圍為常溫~250℃。
溫度均勻度為±1.5%℃,最佳可達±1℃。
結構與設計
無氧烤箱GM-60D:
單門立式結構,控制柜位于箱體上方。
內膽采用SUS304鏡面不銹鋼,外殼為SUS304拉絲不銹鋼。
潔凈烤箱MOL-2DS:
雙門雙控設計,控制箱位于機臺右方。
內膽采用SUS304鏡面不銹鋼,外箱為SS41冷軋鋼板。
氣體控制
無氧烤箱GM-60D:
使用惰性氣體(如氮氣)填充,確保無氧環(huán)境。
潔凈烤箱MOL-2DS:
可接氮氣或潔凈干燥氣體,但主要功能是保持潔凈。
潔凈等級
無氧烤箱GM-60D:
潔凈等級未明確提及,但通常適用于無氧環(huán)境。
潔凈烤箱MOL-2DS:
內部潔凈等級可達Class 100,適合高潔凈度需求。
其他特點
無氧烤箱GM-60D:
升溫速度快,常溫到400℃的升溫速度>6℃/min。
運行噪音≤65dB。
潔凈烤箱MOL-2DS:
升溫到200℃約需40分鐘。
采用HEPA高效過濾器,過濾效率99.99%。
總結
如果工藝需要在無氧環(huán)境中進行,且溫度要求較高(如超過250℃),則選擇無氧烤箱GM-60D。
如果工藝對潔凈度要求極高(如Class 100),且溫度需求在250℃以下,則選擇潔凈烤箱MOL-2DS。