技術(shù)參數(shù)

濕度控制：氮?dú)夤駪?yīng)能將濕度精確控制在1%-60%RH范圍內(nèi)，并根據(jù)設(shè)定值自動(dòng)調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁俊?

氮?dú)饧兌龋旱獨(dú)饧兌刃柽_(dá)到99.99%以上，以防止晶圓氧化。

溫度控制：雖然部分氮?dú)夤癫恢苯诱{(diào)節(jié)溫度，但環(huán)境溫度應(yīng)保持在22±2℃，相對(duì)濕度40%-60%，以確保晶圓品質(zhì)。

密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無(wú)法進(jìn)入。

潔凈度：氮?dú)夤駜?nèi)潔凈度應(yīng)達(dá)到ISO Class 5或更高，以滿足半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)要求。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

柜體材質(zhì)：優(yōu)先選擇304不銹鋼材質(zhì)，其潔凈度高、耐用性強(qiáng)，適合在百級(jí)或千級(jí)無(wú)塵室內(nèi)使用。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)：柜體應(yīng)采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，承重性能好，內(nèi)部無(wú)氮?dú)馑澜?，確保氮?dú)饩鶆蚍植肌?

開(kāi)門(mén)方式：根據(jù)存儲(chǔ)需求選擇單開(kāi)門(mén)、雙開(kāi)門(mén)或多開(kāi)門(mén)設(shè)計(jì)。

功能與智能化

智能控制系統(tǒng)：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，可設(shè)定濕度、自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng)，節(jié)約氮?dú)狻?

多點(diǎn)供氣系統(tǒng)：通過(guò)多點(diǎn)供氣，確保柜內(nèi)氮?dú)夥植季鶆?，避免死點(diǎn)死角。

安全功能：具備氮?dú)庑孤﹫?bào)警、超壓保護(hù)、緊急停機(jī)等功能。

成本效益分析

氮?dú)夤?jié)約：選擇配備節(jié)氮模塊的氮?dú)夤?，可顯著降低氮?dú)庀?，降低使用成本?

使用壽命：高質(zhì)量的不銹鋼材質(zhì)和穩(wěn)定的控制系統(tǒng)可延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，降低長(zhǎng)期維護(hù)成本。

其他注意事項(xiàng)

靜電防護(hù)：氮?dú)夤駪?yīng)具備良好的防靜電設(shè)計(jì)，避免靜電對(duì)晶圓造成損害。

定制化服務(wù)：根據(jù)存儲(chǔ)物品的尺寸和數(shù)量，選擇可定制隔板設(shè)計(jì)和尺寸的氮?dú)夤瘛?

通過(guò)以上建議，可以幫助您選擇適合半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)的工業(yè)級(jí)氮?dú)夤?，確保晶圓在存儲(chǔ)過(guò)程中免受氧化、潮氣和污染的影響，從而保障產(chǎn)品的最終性能和可靠性。