氮?dú)夤?/a>氮?dú)獗Ｗo(hù)柜主要用來存放易氧化物料，如半導(dǎo)體芯片，太陽能晶片，有色貴金屬等?？梢罁?jù)柜內(nèi)的相對濕度或氧含量來智能控制氮?dú)獾妮斎牒颓袛啵淮卧O(shè)定，全自動控制，節(jié)約氮?dú)庀模刂瞥杀尽?
中學(xué)科學(xué)技術(shù)大學(xué)簽約三清儀器氮?dú)夤?，用來存放半?dǎo)體晶圓，防止晶圓氧化，為成品保駕護(hù)航。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
