光電行業(yè),太陽能行業(yè),半導體微電子行業(yè)經(jīng)常使用的集成電路制造的硅拋光片與外廷片,都會使用到硅材料。因為硅材料的易氧化特性,表面干凈的硅暴露在空氣中一段時間就會被氧化,說明常溫下硅是會與氧氣發(fā)生反應的。檢驗方法是:干凈的硅表面是疏水的,而被氧化成二氧化硅后表面會變得親水。為了防止這一現(xiàn)象的發(fā)生,我們需要將其防止在氮氣保護柜內(nèi)長期存放。

三清儀器氮氣柜使用金屬外殼制造,表面靜電噴塑。內(nèi)置進口配件,性能穩(wěn)定可靠。采用自動程控感應系統(tǒng),當箱內(nèi)的濕度達到設定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應;當箱內(nèi)的濕度超過設定值時,系統(tǒng)會自動打開氮氣供應來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統(tǒng),防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮氣均勻性,防止受潮氧化,更好的保護存放的物料。高強度載重移動式層板,可根據(jù)存放的物料隨意調(diào)節(jié)每層層板之間的高度,存放物料更方便,空間利用率更高。且符合符合J-STD-033B規(guī)范對濕敏元件(MSD)儲存的要求,還可以選擇SUS304不銹鋼材質制作。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

氮氣柜