氮氣柜在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用非常廣泛，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

提供惰性氣氛：

防止氧化：半導(dǎo)體芯片的制造需要在特定的環(huán)境中進(jìn)行，氮氣可以提供一個干燥、無塵、無氧的環(huán)境，以防止芯片在制造過程中受到氧化。例如，在晶圓存儲柜中，通過氮氣填充裝置將晶圓傳送盒內(nèi)的氧氣和水汽排出，同時使晶圓傳送盒內(nèi)充滿干燥的氮氣，避免在晶圓表面生成氧化物，提高了晶圓的良品率。

保護(hù)石墨舟：石墨舟在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng)，尤其是在高溫處理后，表面可能更為敏感。石墨舟氮氣柜通過充入氮氣來降低柜內(nèi)氧氣濃度，防止石墨舟表面氧化，保持其導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性。

保護(hù)存儲環(huán)境：

防潮防濕：氮氣柜可以創(chuàng)造一個干燥的環(huán)境，避免濕氣對半導(dǎo)體器件的影響，從而保護(hù)其不被潮濕環(huán)境影響。例如，半導(dǎo)體氮氣柜通過將氮氣加壓充入柜體，創(chuàng)造出一種低氧、低濕度、低污染的環(huán)境，從而保護(hù)半導(dǎo)體等精密電子元件免受濕度和污染的影響。

防靜電：氮氣柜的主體材料通常采用防靜電噴涂，可以有效防止靜電對半導(dǎo)體器件的損害。

提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量：

延長使用壽命：在低氧、低濕度、低污染的環(huán)境下，半導(dǎo)體的氧化和腐蝕速度會減緩，從而延長其使用壽命。

提高良品率：通過氮氣柜提供的穩(wěn)定環(huán)境，可以減少由于濕度和污染導(dǎo)致的故障，提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。

節(jié)能降耗：氮氣柜采用先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，能夠有效地降低能源消耗，同時減少對環(huán)境的影響。