提供惰性氣氛：

防止氧化：氮?dú)馐且环N惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。在氮?dú)夤裰?，高純度的氮?dú)饽軌蛴行Ц艚^晶圓與外界空氣的接觸，減少晶圓表面的氧化。例如，氮?dú)夤駜?nèi)的氮?dú)饧兌韧ǔＲ筮_(dá)到99.999%以上，以確保晶圓芯片在存儲過程中不會受到氧化和污染。

減少化學(xué)反應(yīng)：氮?dú)夤駜?nèi)充滿純凈的氮?dú)?，減少了氧氣和其他有害氣體的存在，從而防止晶圓與其他材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保護(hù)晶圓的完整性。

濕度控制：氮?dú)夤駜?nèi)的濕度通常能夠控制在10%RH以下。低濕度環(huán)境能夠有效降低晶圓表面的水分含量，防止水分對晶圓的氧化和腐蝕，保持晶圓的穩(wěn)定性和可靠性。

保持潔凈環(huán)境：

無塵環(huán)境：氮?dú)夤衲軌蛱峁┮粋€無塵的環(huán)境，防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質(zhì)量至關(guān)重要。高效過濾：氮?dú)夤裢ǔＥ鋫涓咝н^濾器，以確保柜內(nèi)空氣的潔凈度達(dá)到晶圓存儲的要求。

防靜電措施：

防靜電保護(hù)：晶圓芯片對靜電敏感，氮?dú)夤癫扇×艘幌盗蟹漓o電措施，如設(shè)立靜電地板、接地裝置和靜電屏蔽等，以防止靜電對晶圓芯片造成損害。

通過這些措施，氮?dú)夤衲軌蛴行У乇Ｗo(hù)晶圓免受氧化、潮氣、污染和靜電等不利因素的影響，從而確保晶圓的質(zhì)量和可靠性。