無塵烤箱在半導(dǎo)體行業(yè)的使用規(guī)范

設(shè)備選擇與配置

潔凈度等級

根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)對潔凈度的不同要求，選擇相應(yīng)潔凈度等級的無塵烤箱。如光刻工藝中的預(yù)烘烤、涂膠后的堅(jiān)膜烘烤等環(huán)節(jié)，需使用Class 100百級無塵潔凈烤箱；而一些對潔凈度要求稍低的環(huán)節(jié)，可選用Class 1000千級無塵烤箱。

溫度控制

無塵烤箱應(yīng)具備高精度的溫度控制系統(tǒng)，溫度范圍通常為室溫+10℃至300℃，溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi)。溫度均勻性也非常重要，一般要求在200℃時(shí)±3℃，300℃時(shí)±4℃。

氧含量控制

對于需要無氧化烘烤的工藝，無塵烤箱應(yīng)配備氮?dú)庀到y(tǒng)，可將箱內(nèi)氧含量控制在100PPM以內(nèi)，甚至更低，如20PPM。

過濾系統(tǒng)

配備HEPA或ULPA過濾系統(tǒng)，確保箱內(nèi)潔凈度達(dá)到ISO 5級。過濾器應(yīng)定期更換，以保持其過濾效率。

操作流程與注意事項(xiàng)

使用前準(zhǔn)備

檢查無塵烤箱的電源、氣源連接是否正常，確保設(shè)備處于完好狀態(tài)。

根據(jù)工藝要求設(shè)定好溫度、時(shí)間等參數(shù)，并進(jìn)行預(yù)熱，使箱內(nèi)達(dá)到所需的溫度和潔凈度。

確認(rèn)待烘烤的產(chǎn)品已按照規(guī)定進(jìn)行清潔處理，避免帶入污染物。

放置產(chǎn)品

將產(chǎn)品放置在無塵烤箱的不銹鋼層架上，層架間距可調(diào)節(jié)，以滿足不同產(chǎn)品的需求。

放置時(shí)應(yīng)輕拿輕放，避免對產(chǎn)品造成損傷。

烘烤過程

啟動無塵烤箱，按照設(shè)定的工藝曲線進(jìn)行烘烤。在烘烤過程中，應(yīng)密切觀察設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，如有異常情況應(yīng)及時(shí)處理。

對于需要充氮?dú)獾墓に嚕瑧?yīng)確保氮?dú)饬髁糠€(wěn)定，并實(shí)時(shí)監(jiān)測箱內(nèi)氧含量。

取出產(chǎn)品

烘烤完成后，應(yīng)先關(guān)閉加熱系統(tǒng)，待箱內(nèi)溫度降至安全溫度后再取出產(chǎn)品。

取出產(chǎn)品時(shí)應(yīng)佩戴無塵手套，避免手部污染。

安全與維護(hù)

安全措施

無塵烤箱應(yīng)具備超溫保護(hù)、過載保護(hù)等多種安全措施，以防止設(shè)備在異常情況下?lián)p壞或發(fā)生危險(xiǎn)。

操作人員應(yīng)經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉設(shè)備的操作規(guī)程和安全注意事項(xiàng)。

日常維護(hù)

定期對無塵烤箱進(jìn)行清潔和維護(hù)，保持箱體內(nèi)外的清潔。

檢查加熱器、風(fēng)扇等關(guān)鍵部件的運(yùn)行情況，及時(shí)更換損壞的部件。

對溫度傳感器、氧含量傳感器等進(jìn)行定期校準(zhǔn)，確保其測量精度。

環(huán)境與人員管理

環(huán)境管理

無塵烤箱應(yīng)放置在符合潔凈度要求的無塵室內(nèi)，避免外部環(huán)境對烘烤過程的影響。

無塵室內(nèi)的溫度和濕度應(yīng)控制在適宜范圍內(nèi)，以保證無塵烤箱的正常運(yùn)行。

人員管理

操作人員在進(jìn)入無塵室前，必須穿戴好無塵服、無塵帽、無塵鞋等防護(hù)用品。

人員在操作過程中應(yīng)遵守?zé)o塵室的管理規(guī)定，避免帶入污染物。