晶圓氮?dú)獗Wo(hù)柜是一種專(zhuān)門(mén)用于存儲(chǔ)晶圓的設(shè)備,其主要功能和特點(diǎn)如下:
主要功能
提供惰性氣氛:
防止氧化:氮?dú)馐且环N惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。在氮?dú)夤?/a>中,高純度的氮?dú)饽軌蛴行Ц艚^晶圓與外界空氣的接觸,減少晶圓表面的氧化。氮?dú)夤駜?nèi)的氮?dú)饧兌韧ǔR筮_(dá)到99.999%以上,以確保晶圓芯片在存儲(chǔ)過(guò)程中不會(huì)受到氧化和污染。
減少化學(xué)反應(yīng):氮?dú)夤駜?nèi)充滿(mǎn)純凈的氮?dú)?,減少了氧氣和其他有害氣體的存在,從而防止晶圓與其他材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),保護(hù)晶圓的完整性。
濕度控制:
低濕度環(huán)境:氮?dú)夤駜?nèi)的濕度通常能夠控制在10%RH以下,甚至更低。低濕度環(huán)境能夠有效降低晶圓表面的水分含量,防止水分對(duì)晶圓的氧化和腐蝕,保持晶圓的穩(wěn)定性和可靠性。
自動(dòng)調(diào)節(jié):氮?dú)夤駪?yīng)配備精確的濕度傳感器和控制系統(tǒng),能夠根據(jù)設(shè)定的濕度值自動(dòng)調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁炕驖穸日{(diào)節(jié)裝置,將柜內(nèi)濕度控制在合適的范圍內(nèi)(如1%-60%RH)。
保持潔凈環(huán)境:
無(wú)塵環(huán)境:氮?dú)夤衲軌蛱峁┮粋€(gè)無(wú)塵的環(huán)境,防止空氣中的微粒和污染物對(duì)晶圓造成污染。這對(duì)于保證晶圓的純凈度和質(zhì)量至關(guān)重要。
高效過(guò)濾:氮?dú)夤裢ǔE鋫涓咝н^(guò)濾器,以確保柜內(nèi)空氣的潔凈度達(dá)到晶圓存儲(chǔ)的要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:
存儲(chǔ)晶圓:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓需要在多個(gè)工序之間進(jìn)行存儲(chǔ)和轉(zhuǎn)運(yùn)。氮?dú)夤裉峁┝艘粋€(gè)無(wú)塵、低濕度、低氧的環(huán)境,可以有效防止晶圓在存儲(chǔ)過(guò)程中受到氧化和污染,確保晶圓的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
提高生產(chǎn)效率:氮?dú)夤衲軌蛱峁┓€(wěn)定的存儲(chǔ)環(huán)境,可以確保生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量穩(wěn)定,從而提高生產(chǎn)效率。
通信行業(yè):
保護(hù)高價(jià)值器件:通信系統(tǒng)中的半導(dǎo)體器件對(duì)環(huán)境要求極高,尤其是在高濕度和多塵的環(huán)境下。氮?dú)夤窨梢詾檫@些高價(jià)值半導(dǎo)體器件提供最佳的保護(hù),確保通信系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
航空航天:
極端環(huán)境下的保護(hù):航空航天領(lǐng)域的電子產(chǎn)品需要在極端環(huán)境下保持高度的可靠性和穩(wěn)定性。氮?dú)夤衲軌驗(yàn)檫@些設(shè)備提供最佳的保護(hù),確保其在各種環(huán)境下都能正常工作。
汽車(chē)電子:
提高可靠性和穩(wěn)定性:汽車(chē)電子設(shè)備需要在復(fù)雜的環(huán)境中運(yùn)行,氮?dú)夤窨梢詾檫@些設(shè)備提供穩(wěn)定的存儲(chǔ)環(huán)境,提高其可靠性和穩(wěn)定性,延長(zhǎng)使用壽命。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開(kāi)門(mén)方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開(kāi)門(mén) |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開(kāi)門(mén) |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開(kāi)門(mén) |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開(kāi)門(mén) |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開(kāi)門(mén) / 六開(kāi)門(mén) |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |