以下是百級(jí)烘箱的溫度均勻性和顆粒物的驗(yàn)證方法：

溫度均勻性驗(yàn)證方法

準(zhǔn)備設(shè)備：準(zhǔn)備不少于3個(gè)溫度傳感器，如熱電偶或紅外線溫度計(jì)。

布置傳感器：將傳感器分別放置在烘箱的上、中、下三個(gè)位置，確保傳感器與烘箱內(nèi)壁的距離適當(dāng)，避免受到直接加熱元件的影響。

設(shè)定溫度：將烘箱溫度設(shè)定為所需驗(yàn)證的溫度，如200℃或300℃。

記錄數(shù)據(jù)：啟動(dòng)烘箱，待溫度穩(wěn)定后，記錄不同位置的溫度數(shù)據(jù)。通常需要在設(shè)定溫度下持續(xù)記錄一段時(shí)間（如30分鐘），每隔一定時(shí)間（如每2分鐘）記錄一次溫度。

計(jì)算均勻性：計(jì)算各測(cè)量點(diǎn)的溫度差異，溫度均勻性一般要求在200℃時(shí)為±3℃，在300℃時(shí)為±4℃。也可以通過計(jì)算溫度均勻度，即在穩(wěn)定狀態(tài)下，30分鐘內(nèi)每次測(cè)量中實(shí)測(cè)最高溫度與最低溫度之差的算術(shù)平均值。

顆粒物驗(yàn)證方法

測(cè)量設(shè)備：使用手持式激光顆粒物及粉塵連續(xù)式測(cè)試儀，或符合標(biāo)準(zhǔn)的離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC），通過光散射原理檢測(cè)空氣中大于或等于規(guī)定粒徑的懸浮粒子濃度。

準(zhǔn)備烘箱：在測(cè)量前，確保烘箱進(jìn)入潔凈室之前經(jīng)過凈化處理，例如使用蘇打水或酒精擦拭內(nèi)膽、隔板、箱門內(nèi)側(cè)及密封條，并充分晾干。然后通電工作一段時(shí)間，讓高效過濾器（HEPA）充分工作，將工作室內(nèi)部原有的空氣經(jīng)過凈化過濾。

測(cè)量過程：打開烘箱的測(cè)試孔，將顆粒物測(cè)試儀的探頭通過測(cè)試孔放入烘箱內(nèi)部，測(cè)試孔用無塵布堵住，防止外部環(huán)境的空氣進(jìn)入。測(cè)試結(jié)束后讀取數(shù)據(jù)。

判斷標(biāo)準(zhǔn)：百級(jí)無塵烘箱要求每立方米（1立方英尺）內(nèi)不高于3520個(gè)（100個(gè)）顆粒物。具體標(biāo)準(zhǔn)為：在每立方英尺內(nèi)，0.5微米的灰塵顆粒不超過100個(gè)，0.2微米灰塵顆粒不超過750個(gè)，0.3微米不超過300個(gè)，5.0微米不超過29個(gè)。

通過上述方法，可以有效驗(yàn)證百級(jí)烘箱的溫度均勻性和顆粒物控制情況，確保其在生產(chǎn)過程中始終保持高潔凈度和穩(wěn)定的溫度環(huán)境。