蘇州三清儀器有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓用不銹鋼潔凈氮?dú)夤?/a>具有以下特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
產(chǎn)品特點(diǎn)
潔凈與防氧化:
采用優(yōu)質(zhì)SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì),自身不產(chǎn)塵,潔凈等級(jí)高。
氮?dú)夤?/a>通過(guò)充入高純度氮?dú)?,降低?nèi)部濕度和氧含量,有效防止晶圓氧化。
內(nèi)部配備高潔凈過(guò)濾器,確保氮?dú)獾臐崈舳取?
氮?dú)夤?jié)約功能:
智能供氮控制系統(tǒng)可根據(jù)設(shè)定的濕度值自動(dòng)控制氮?dú)獾墓?yīng),當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時(shí)自動(dòng)切斷氮?dú)猓^(guò)設(shè)定值時(shí)自動(dòng)開(kāi)啟。
多點(diǎn)供氣系統(tǒng)確保氮?dú)夥植季鶆颍苊鈿怏w過(guò)沖對(duì)樣品造成破壞。
安全與便捷性:
配備聲光報(bào)警系統(tǒng)、斷電后自動(dòng)打開(kāi)氮?dú)夤?yīng)功能,確保樣品在斷電時(shí)仍能得到保護(hù)。
柜體設(shè)計(jì)包括高強(qiáng)度鋼化玻璃觀察窗、平面加壓把手、防靜電萬(wàn)向腳輪等,方便移動(dòng)和定位。
智能化控制:
支持觸摸屏或電子鍵盤(pán)操作,具備氮?dú)鉂舛?、溫濕度監(jiān)測(cè)、報(bào)警提示等功能。
可選配USB溫濕度信息傳輸系統(tǒng)、RS485通信接口等。
應(yīng)用場(chǎng)景:
適用于半導(dǎo)體晶圓、芯片、光罩、石墨盤(pán)等高精密材料的存儲(chǔ)。
適合在千級(jí)或百級(jí)無(wú)塵室中使用,確保晶圓在存儲(chǔ)過(guò)程中免受氧化和污染。
定制化服務(wù):
可根據(jù)客戶需求定制不同尺寸和容量的氮?dú)夤?,?2寸CASSETTE存放需求。
三清儀器的氮?dú)夤駪{借其高潔凈度、氮?dú)夤?jié)約功能和智能化控制系統(tǒng),成為半導(dǎo)體行業(yè)存儲(chǔ)晶圓的理想選擇。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開(kāi)門(mén)方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開(kāi)門(mén) |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開(kāi)門(mén) |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開(kāi)門(mén) |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開(kāi)門(mén) |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開(kāi)門(mén) / 六開(kāi)門(mén) |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |