在半導(dǎo)體制造中，PI（聚酰亞胺）膠固化需要使用無氧潔凈烤箱，主要原因如下：
防止氧化反應(yīng)
PI膠在高溫固化過程中容易與氧氣發(fā)生氧化反應(yīng)，導(dǎo)致材料性能惡化，如降低絕緣性能、機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性。無氧環(huán)境可以有效避免這些氧化反應(yīng)，確保PI膠的性能不受影響。
提高固化質(zhì)量
無氧環(huán)境能夠使PI膠的固化反應(yīng)更加純凈和均勻，減少副反應(yīng)的發(fā)生。例如，氧氣可能引發(fā)不必要的氧化交聯(lián)反應(yīng)，影響光刻膠的性能和圖案精度。在無氧環(huán)境下，固化后的PI膠薄膜具有更好的均勻性和邊緣清晰度。
保護(hù)半導(dǎo)體材料
半導(dǎo)體晶圓在高溫下容易被氧化，尤其是在其表面有金屬層或其他敏感材料時。無氧潔凈烤箱可以防止晶圓表面氧化，保護(hù)其電學(xué)性能。
潔凈環(huán)境需求
半導(dǎo)體制造對環(huán)境的潔凈度要求極高。無氧潔凈烤箱通過內(nèi)部循環(huán)風(fēng)道和高效過濾器，確保內(nèi)部環(huán)境的高潔凈度，防止灰塵和其他雜質(zhì)對PI膠固化和晶圓表面造成污染。
綜上所述，無氧潔凈烤箱為PI膠固化提供了無氧、低濕、潔凈的環(huán)境，能夠顯著提升固化質(zhì)量和半導(dǎo)體器件的性能，是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備。
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型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環(huán)境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內(nèi) （室溫-300℃）
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結(jié) 構(gòu) |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
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內(nèi)膽
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SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進(jìn)氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風(fēng)閥門
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溫度控 制系統(tǒng) |
調(diào)節(jié)方式
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PID 控制方式
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運(yùn)轉(zhuǎn)方式
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定值運(yùn)轉(zhuǎn) 程序運(yùn)轉(zhuǎn)
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設(shè)定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設(shè)定方式
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數(shù)字式
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顯示方式
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LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護(hù)
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報(bào)警 蜂鳴器報(bào)警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機(jī)溫度保護(hù)開關(guān) 溫度保險(xiǎn)絲 獨(dú)立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內(nèi)容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內(nèi)部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報(bào)警燈 計(jì)時器等
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