在半導(dǎo)體制造中,PI(聚酰亞胺)膠固化需要使用無(wú)氧潔凈烤箱,主要原因如下:

防止氧化反應(yīng)

PI膠在高溫固化過(guò)程中容易與氧氣發(fā)生氧化反應(yīng),導(dǎo)致材料性能惡化,如降低絕緣性能、機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性。無(wú)氧環(huán)境可以有效避免這些氧化反應(yīng),確保PI膠的性能不受影響。

提高固化質(zhì)量

無(wú)氧環(huán)境能夠使PI膠的固化反應(yīng)更加純凈和均勻,減少副反應(yīng)的發(fā)生。例如,氧氣可能引發(fā)不必要的氧化交聯(lián)反應(yīng),影響光刻膠的性能和圖案精度。在無(wú)氧環(huán)境下,固化后的PI膠薄膜具有更好的均勻性和邊緣清晰度。

保護(hù)半導(dǎo)體材料

半導(dǎo)體晶圓在高溫下容易被氧化,尤其是在其表面有金屬層或其他敏感材料時(shí)。無(wú)氧潔凈烤箱可以防止晶圓表面氧化,保護(hù)其電學(xué)性能。

潔凈環(huán)境需求

半導(dǎo)體制造對(duì)環(huán)境的潔凈度要求極高。無(wú)氧潔凈烤箱通過(guò)內(nèi)部循環(huán)風(fēng)道和高效過(guò)濾器,確保內(nèi)部環(huán)境的高潔凈度,防止灰塵和其他雜質(zhì)對(duì)PI膠固化和晶圓表面造成污染。

綜上所述,無(wú)氧潔凈烤箱為PI膠固化提供了無(wú)氧、低濕、潔凈的環(huán)境,能夠顯著提升固化質(zhì)量和半導(dǎo)體器件的性能,是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備。

型號(hào)
SKCOL-2
SKCOL-3
SKCOL-4
SKCOL-5
潔凈度
Class 100 百級(jí)無(wú)塵潔凈烘箱
電源
380V 50HZ
功率
7.5 KW
10.5 KW
11 KW
17 KW
工作環(huán)境溫度
5℃ - 35℃

溫度范圍
+60℃ - +300℃
溫度波動(dòng)度
±0.5℃
溫度均勻性
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
升溫時(shí)間
40分鐘以內(nèi) (室溫-300℃)

結(jié)

構(gòu)

外殼
防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
內(nèi)膽
SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
隔熱材料
玻璃棉
加熱器
覆套式電熱器
進(jìn)氣口
6 MM
出氣口
5 MM 自動(dòng)開(kāi)啟排風(fēng)閥門(mén)

溫度控

制系統(tǒng)

調(diào)節(jié)方式
PID 控制方式
運(yùn)轉(zhuǎn)方式
定值運(yùn)轉(zhuǎn) 程序運(yùn)轉(zhuǎn)
設(shè)定范圍
0 ℃ - 300 ℃
設(shè)定方式
數(shù)字式
顯示方式
LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
傳感元件
K型熱電偶
安全保護(hù)
輸入斷線檢測(cè)功能 上限溫度過(guò)熱報(bào)警 蜂鳴器報(bào)警 自行診斷
定時(shí)功能
0.1 - 999.9 H
安全裝置
電機(jī)溫度保護(hù)開(kāi)關(guān) 溫度保險(xiǎn)絲 獨(dú)立防止溫度過(guò)升裝置
隔板承載
30 KG
內(nèi)容積
180 L
270 L
480 L
980 L
重量
260 KG
320 KG
450 KG
730 KG
內(nèi)部尺寸 mm
W600 H600 D500
W600 H900 D500
W800 H1000 D600
W1400 H1000 D700
外部尺寸 mm
W950 H1510 D855
W950 H1810 D855
W1290 H1790 D955
W1950 H1790 D1055
配件
隔板
2 PCS
說(shuō)明書(shū)
1 冊(cè)
選購(gòu)件
程序溫控儀 觸摸屏 三色報(bào)警燈 計(jì)時(shí)器等