普通氮氣柜和晶圓FAB工廠氮氣柜的主要區(qū)別如下：

功能與控制精度

普通氮氣柜：主要用于一般防潮、防氧化需求，通過持續(xù)充入氮氣置換柜內(nèi)空氣，達到防潮、防氧化的效果。

晶圓FAB工廠氮氣柜：專為半導(dǎo)體晶圓存儲設(shè)計，具備更高的濕度控制精度（1%-60% RH），能夠快速將濕度降至設(shè)定值，并通過智能控制系統(tǒng)自動充氮和停止供氣，顯著節(jié)約氮氣。

技術(shù)參數(shù)

普通氮氣柜：通常配備流量計手動調(diào)節(jié)氮氣流量，濕度控制范圍較寬（一般為10%-60% RH），精度相對較低。

晶圓FAB工廠氮氣柜：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，濕度控制精度可達±3% RH，溫度顯示范圍為-9℃至99℃，濕度和溫度獨立顯示。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

普通氮氣柜：材質(zhì)通常為不銹鋼或烤漆鋼板，注重密封性和承重性。

晶圓FAB工廠氮氣柜：采用1.2mm優(yōu)質(zhì)鋼板，加強結(jié)構(gòu)設(shè)計，內(nèi)外表面噴塑處理，防靜電型號的靜電阻值在10^6^-10^9^歐姆之間，符合ESD行業(yè)標準。

節(jié)能與成本

普通氮氣柜：依靠流量計控制氮氣流量，氮氣消耗相對較高。

晶圓FAB工廠氮氣柜：通過智能控制系統(tǒng)，相比普通氮氣柜可節(jié)約80%以上的氮氣成本。

應(yīng)用場景

普通氮氣柜：廣泛應(yīng)用于電子元件、實驗室耗材、文物保存等領(lǐng)域，主要滿足一般的防潮、防氧化需求。

晶圓FAB工廠氮氣柜：專用于半導(dǎo)體晶圓存儲，確保晶圓在超低濕、無氧環(huán)境下安全存儲，防止氧化和受潮。

附加功能

普通氮氣柜：通常配備基本的流量計和密封門。

晶圓FAB工廠氮氣柜：具備高承重隔板、觀察窗、平面加壓鎖、警報裝置等附加功能，部分型號還可選配高承重支撐和防潮箱除濕裝置。

綜上所述，晶圓FAB工廠氮氣柜在功能、精度、節(jié)能和附加功能方面都優(yōu)于普通氮氣柜，更適合對存儲環(huán)境要求極高的半導(dǎo)體晶圓存儲場景。