晶圓FAB工廠氮?dú)夤?/a>的濕度控制精度是通過(guò)以下多種技術(shù)和方法實(shí)現(xiàn)的:
高精度傳感器與控制系統(tǒng)
濕度傳感器:氮?dú)夤駜?nèi)部配備高精度的濕度傳感器,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)柜內(nèi)的濕度水平,監(jiān)測(cè)誤差控制在±3% RH以內(nèi)。
微電腦智能控制系統(tǒng):通過(guò)微電腦系統(tǒng)自動(dòng)感應(yīng)濕度變化,并根據(jù)設(shè)定值自動(dòng)調(diào)節(jié)氮?dú)獾某淙牒屯V埂.?dāng)濕度超過(guò)設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)打開(kāi)氮?dú)夤?yīng);當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時(shí),自動(dòng)停止氮?dú)夤?yīng)。
動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)制
快速恢復(fù)功能:開(kāi)門(mén)后15分鐘內(nèi),氮?dú)夤衲軌蚩焖倩謴?fù)設(shè)定濕度(如10% RH以下),確保柜內(nèi)環(huán)境的穩(wěn)定性。
氮?dú)饬髁颗c溫濕度聯(lián)動(dòng)控制:系統(tǒng)支持氮?dú)饬髁颗c溫濕度的聯(lián)動(dòng)控制,避免過(guò)度充氮,同時(shí)確保濕度的精確控制。
氮?dú)庾⑷肱c置換
高純度氮?dú)猓菏褂眉兌取?9.99%的氮?dú)?,確保柜內(nèi)濕度水分含量通常≤15ppmv。
多點(diǎn)供氣系統(tǒng):通過(guò)多點(diǎn)供氣,確保氮?dú)庠诠駜?nèi)均勻分布,避免死角,進(jìn)一步提高濕度控制的精度。
輔助除濕裝置
干燥劑與除濕裝置:部分高端氮?dú)夤駜?nèi)裝有除濕裝置,如硅膠、分子篩等吸附材料,輔助吸收柜體內(nèi)部殘余水分。
智能調(diào)節(jié)與報(bào)警功能
濕度超標(biāo)報(bào)警:當(dāng)柜內(nèi)濕度超出設(shè)定范圍時(shí),報(bào)警系統(tǒng)會(huì)及時(shí)發(fā)出警報(bào),提醒相關(guān)人員及時(shí)處理。
自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng):根據(jù)濕度傳感器的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以調(diào)整氮?dú)膺M(jìn)入柜體的流量,以保持柜內(nèi)濕度的穩(wěn)定。
柜體設(shè)計(jì)與密封性
加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):柜體采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保承重性能好,內(nèi)部無(wú)氮?dú)馑澜?,同時(shí)保證密封性,防止外界空氣和污染物進(jìn)入。
防靜電設(shè)計(jì):氮?dú)夤窬邆淞己玫姆漓o電設(shè)計(jì),避免靜電對(duì)晶圓造成損害。
溫濕度獨(dú)立顯示與記憶功能
溫濕度獨(dú)立顯示:溫濕度傳感器采用原裝進(jìn)口品牌,溫濕度獨(dú)立顯示,使用壽命長(zhǎng),濕度設(shè)定具有記憶功能,斷電后無(wú)需重新設(shè)定。
通過(guò)以上技術(shù)手段,晶圓FAB工廠氮?dú)夤衲軌驅(qū)崿F(xiàn)高精度的濕度控制,確保晶圓等敏感元件在存儲(chǔ)過(guò)程中不受潮、不氧化,從而保障其性能和壽命。