高精度傳感器與控制系統(tǒng)

濕度傳感器：氮?dú)夤駜?nèi)部配備高精度的濕度傳感器，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)柜內(nèi)的濕度水平，監(jiān)測(cè)誤差控制在±3% RH以內(nèi)。

微電腦智能控制系統(tǒng)：通過(guò)微電腦系統(tǒng)自動(dòng)感應(yīng)濕度變化，并根據(jù)設(shè)定值自動(dòng)調(diào)節(jié)氮?dú)獾某淙牒屯Ｖ埂．?dāng)濕度超過(guò)設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)打開(kāi)氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)停止氮?dú)夤?yīng)。

動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)制

快速恢復(fù)功能：開(kāi)門(mén)后15分鐘內(nèi)，氮?dú)夤衲軌蚩焖倩謴?fù)設(shè)定濕度（如10% RH以下），確保柜內(nèi)環(huán)境的穩(wěn)定性。

氮?dú)饬髁颗c溫濕度聯(lián)動(dòng)控制：系統(tǒng)支持氮?dú)饬髁颗c溫濕度的聯(lián)動(dòng)控制，避免過(guò)度充氮，同時(shí)確保濕度的精確控制。

氮?dú)庾⑷肱c置換

高純度氮?dú)猓菏褂眉兌取?9.99%的氮?dú)?，確保柜內(nèi)濕度水分含量通常≤15ppmv。

多點(diǎn)供氣系統(tǒng)：通過(guò)多點(diǎn)供氣，確保氮?dú)庠诠駜?nèi)均勻分布，避免死角，進(jìn)一步提高濕度控制的精度。

輔助除濕裝置

干燥劑與除濕裝置：部分高端氮?dú)夤駜?nèi)裝有除濕裝置，如硅膠、分子篩等吸附材料，輔助吸收柜體內(nèi)部殘余水分。

智能調(diào)節(jié)與報(bào)警功能

濕度超標(biāo)報(bào)警：當(dāng)柜內(nèi)濕度超出設(shè)定范圍時(shí)，報(bào)警系統(tǒng)會(huì)及時(shí)發(fā)出警報(bào)，提醒相關(guān)人員及時(shí)處理。

自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)：根據(jù)濕度傳感器的信號(hào)，自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以調(diào)整氮?dú)膺M(jìn)入柜體的流量，以保持柜內(nèi)濕度的穩(wěn)定。

柜體設(shè)計(jì)與密封性

加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：柜體采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保承重性能好，內(nèi)部無(wú)氮?dú)馑澜?，同時(shí)保證密封性，防止外界空氣和污染物進(jìn)入。

防靜電設(shè)計(jì)：氮?dú)夤窬邆淞己玫姆漓o電設(shè)計(jì)，避免靜電對(duì)晶圓造成損害。

溫濕度獨(dú)立顯示與記憶功能

溫濕度獨(dú)立顯示：溫濕度傳感器采用原裝進(jìn)口品牌，溫濕度獨(dú)立顯示，使用壽命長(zhǎng)，濕度設(shè)定具有記憶功能，斷電后無(wú)需重新設(shè)定。

通過(guò)以上技術(shù)手段，晶圓FAB工廠氮?dú)夤衲軌驅(qū)崿F(xiàn)高精度的濕度控制，確保晶圓等敏感元件在存儲(chǔ)過(guò)程中不受潮、不氧化，從而保障其性能和壽命。